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潔凈室的防靜電與防火防爆
2021-07-28 瀏覽次數(shù)：395
一、潔凈室的靜電和靜電的消除
1、靜電的危害
a、靜電產(chǎn)生電場能擊穿電子和微電子產(chǎn)品造成廢品；靜電放電產(chǎn)生電磁波會引起電子儀器（計算機和控制設(shè)備）的誤動作，放電產(chǎn)生火花可使感光材料曝光。
b、潔凈室內(nèi)靜電的帶電體，灰塵會依附在其表面，成為潔凈室的污染源，影響潔凈室的潔凈度。
c、潔凈室的靜電聚集放電會誘發(fā)引起火災(zāi)和爆炸影響潔凈室的安全。因為潔凈室內(nèi)生產(chǎn)會使用大量的易燃易爆的氣體，溶劑和有機物，潔凈室封閉性很強，人員疏散較困難造成火災(zāi)，損失更大。
2、靜電的起因
由于某種原因引起電荷移動，正負(fù)電荷失去平衡，這樣物體就帶有靜電，造成電荷移動的因素主要有：
a、接觸帶電：其中還包括有磨擦帶電、滾動帶電、剝離帶電、噴射帶電等。
b、感應(yīng)帶電
c、流動帶電
d、電暈帶電
3、防靜電措施
a、潔凈室圍護的防靜電：即用高導(dǎo)電率材料來建造潔凈室的圍護（墻、頂、地）地面要采用由電阻值為104~106 Ω導(dǎo)靜電材料或電阻值為106~109Ω的抗靜電材料制作。主要有良好的接地。墻和頂要采用表面電阻值為106~108 Ω的鋁蜂窩或巖棉彩鋼板等金屬材料制作。并要有良好的接地。
b、人員的防靜電：潔凈室的作業(yè)人員要穿防靜電的潔凈工作服，在衣服的織物中加入金屬纖維、碳素纖維等導(dǎo)電材料。必要時作業(yè)人員手腕上配帶接地腕環(huán)。
c、生產(chǎn)工藝允許時還可以用提高潔凈室內(nèi)空氣的相對濕度的辦法來消除靜電。
二、潔凈室的防火和防爆
1、潔凈室防火的重要性
（1）潔凈室是密閉廠房。一般情況下不設(shè)外門、外窗，越是凈化級別高其位置越在核心中間部位的無窗密閉廠房。如果出現(xiàn)火情，不僅財產(chǎn)會受很大損失，更重要的是人員難以疏散會有人員的傷亡。
（2）潔凈室是重要的科研和生產(chǎn)場所，生產(chǎn)會使用大量的易燃、易爆的氣體、溶劑和有機物質(zhì)，同時也還會使用大量的有毒有害物質(zhì)，一旦發(fā)生火災(zāi)，后果不堪設(shè)想。
（3）潔凈室是為高科技服務(wù)，不僅僅潔凈室本身的建造費用高（2000~10000元/m2），而且潔凈室內(nèi)的生產(chǎn)設(shè)備的價格更高，有的微電子設(shè)備每臺都數(shù)百萬美元。如果發(fā)生火災(zāi)，財產(chǎn)損失慘重。集上述一些因素，潔凈室的防火是十分重要的。
2、潔凈室的防火措施
（1）建筑結(jié)構(gòu)的材料應(yīng)用不燃材料制作。潔凈室的裝修材料也應(yīng)采用不燃材料制作。應(yīng)嚴(yán)格按“潔凈廠房設(shè)計規(guī)范”中5.2“防火和疏散”一節(jié)的要求執(zhí)行。
（2）生產(chǎn)工藝要盡量不用和少用易燃易爆的原材料。如果必須使用，盡量采取密封措施不散放出來，并且加強通風(fēng)換氣。工藝生產(chǎn)使用易燃易爆氣體時建議在氣源瓶和使用設(shè)備中間加一個“中間分配箱”，使正常情況下是與易燃易爆有毒有害氣源是處于斷開的狀況。
（3）采取必要的報警和滅火措施
1）加強早期報警。采用空氣采樣器和感溫探頭系統(tǒng)聯(lián)合進行報警，實現(xiàn)對陰火和明火的早期報警（空氣采樣器對陰火非常敏感，感溫探頭對明火非常敏感）。
2）設(shè)置室內(nèi)外消火栓和潔凈室自動噴淋滅火系統(tǒng)。
①潔凈室應(yīng)有完善的室外消火栓滅火系統(tǒng)。
②在潔凈室的室內(nèi)和上技術(shù)夾層、下技術(shù)夾層均設(shè)置完善的室內(nèi)消火栓滅火系統(tǒng)和預(yù)作用水噴灑滅火系統(tǒng)。在正常情況下預(yù)作用噴灑系統(tǒng)管道內(nèi)是充滿壓縮空氣，當(dāng)探頭報警后，該系統(tǒng)啟動水泵并排氣充水，當(dāng)火災(zāi)發(fā)生后，著火處燒破玻璃泡水自動噴灑出來滅火。
3）設(shè)置疏散排煙系統(tǒng)
①按“潔凈廠房設(shè)計規(guī)范”GB 50073-2001要求潔凈室的疏散走廊應(yīng)設(shè)排煙或防煙系統(tǒng)保證人員的疏散安全。
②利用工藝設(shè)備的排風(fēng)系統(tǒng)和空調(diào)凈化系統(tǒng)兼作火災(zāi)時的排煙系統(tǒng)以利人員疏散目的。
③按消防部門或保險單位的要求，必要時還要設(shè)計潔凈室的全面排煙系統(tǒng)。
